摘要：一種實現(xiàn)超聲電機頻率跟蹤的微型裝置及方法，其中,，微型裝置包括控制模塊,、電機驅(qū)動模塊,、阻抗匹配模塊、溫度傳感器模塊,、相位檢測模塊和電壓有效值檢測模塊,，控制模塊包括微型單片機或DSP芯片；電機驅(qū)動模塊用以產(chǎn)生兩頻率,、相位差和電壓值均可調(diào)的方波電壓信號,；阻抗匹配模塊采用可變電感器；溫度傳感模塊用以實時測量電機運行過程中的溫度,；相位檢測模塊用以檢測電機激勵電壓和采集電壓之間的相位差,；電壓有效值檢測模塊用于反映電機的振動狀態(tài)。本發(fā)明不僅提高了超聲電機轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性,，而且有益于促進超聲電機的微型化進程,，使得集成有該微型驅(qū)動控制裝置的超聲電機，有望應(yīng)用于微機器人以及體內(nèi)醫(yī)療等對系統(tǒng)尺寸有較大限制的領(lǐng)域,。
