應(yīng)我院邀請,，南開大學(xué)董紅教授于4月23日上午8:30在物理北樓C-208舉行題為《ALD與XPS在半導(dǎo)體研究應(yīng)用和裝備開發(fā)》的專題學(xué)術(shù)講座。學(xué)院負(fù)責(zé)人,、師生代表70余人參加講座,。講座由副院長王芳主持,。

董紅教授首先介紹了團(tuán)隊(duì)在ALD和XPS方面的真空裝備開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展；其次,，詳細(xì)講述了利用自研ALD沉積的HZO鐵電器件和光刻膠等多種薄膜沉積工藝開發(fā),，以及利用XPS技術(shù)進(jìn)行的物性表征工作；最后對團(tuán)隊(duì)的產(chǎn)學(xué)研成果進(jìn)行了簡要介紹,，并對研究熱點(diǎn)進(jìn)行了展望,。

講座結(jié)束后,，董紅教授和與會師生與進(jìn)行了互動交流，并鼓勵(lì)青年教師去南開大學(xué)交流,，鼓勵(lì)學(xué)生去深造?，F(xiàn)場學(xué)術(shù)氛圍濃厚，互動場面熱烈,。

（文 徐世周）

南開大學(xué)電子信息與光學(xué)工程學(xué)院教授,，博士生導(dǎo)師，從事半導(dǎo)體材料,、器件研究,，并開展ALD與XPS等材料表面分析儀器國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化工作。發(fā)表與合作發(fā)表了90多篇論文,，獲得了多個(gè)ALD和XPS的整機(jī)以及核心零部件的國家發(fā)明專利,。