應(yīng)我院邀請,，南開大學董紅教授于4月23日上午8:30在物理北樓C-208舉行題為《ALD與XPS在半導(dǎo)體研究應(yīng)用和裝備開發(fā)》的專題學術(shù)講座,。學院負責人,、師生代表70余人參加講座。講座由副院長王芳主持,。

董紅教授首先介紹了團隊在ALD和XPS方面的真空裝備開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進展；其次,，詳細講述了利用自研ALD沉積的HZO鐵電器件和光刻膠等多種薄膜沉積工藝開發(fā),，以及利用XPS技術(shù)進行的物性表征工作；最后對團隊的產(chǎn)學研成果進行了簡要介紹,，并對研究熱點進行了展望,。

講座結(jié)束后，董紅教授和與會師生與進行了互動交流,，并鼓勵青年教師去南開大學交流,，鼓勵學生去深造。現(xiàn)場學術(shù)氛圍濃厚,，互動場面熱烈,。

（文 徐世周）

南開大學電子信息與光學工程學院教授，博士生導(dǎo)師,，從事半導(dǎo)體材料,、器件研究,，并開展ALD與XPS等材料表面分析儀器國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化工作。發(fā)表與合作發(fā)表了90多篇論文,，獲得了多個ALD和XPS的整機以及核心零部件的國家發(fā)明專利,。