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學(xué)術(shù)預(yù)告

ALD與XPS在半導(dǎo)體研究應(yīng)用和裝備開發(fā)

發(fā)布時(shí)間:2025-04-21瀏覽次數(shù):10

董紅,,南開大學(xué)電子信息與光學(xué)工程學(xué)院教授,博士生導(dǎo)師,,從事半導(dǎo)體材料、器件研究,并開展ALD與XPS等材料表面分析儀器國(guó)產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化工作,。發(fā)表與合作發(fā)表了90多篇論文,獲得了多個(gè)ALD和XPS的整機(jī)以及核心零部件的國(guó)家發(fā)明專利,。