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學(xué)術(shù)交流

ALD與XPS在半導(dǎo)體研究應(yīng)用和裝備開發(fā)

發(fā)布時間:2025-04-21瀏覽次數(shù):10

董紅,南開大學(xué)電子信息與光學(xué)工程學(xué)院教授,,博士生導(dǎo)師,,從事半導(dǎo)體材料,、器件研究,,并開展ALD與XPS等材料表面分析儀器國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化工作。發(fā)表與合作發(fā)表了90多篇論文,,獲得了多個ALD和XPS的整機(jī)以及核心零部件的國家發(fā)明專利,。