應(yīng)我院邀請(qǐng),，上海交通大學(xué)楊卓青教授（博導(dǎo)）于12月11日上午9點(diǎn)在騰訊會(huì)議平臺(tái)上作了題為《非硅MEMS三維集成制造典型器件及應(yīng)用》的專題學(xué)術(shù)講座。電子與電氣工程學(xué)院負(fù)責(zé)人,、師生代表100余人參加講座,。講座由院長(zhǎng)王長(zhǎng)清主持。

楊卓青教授首先詳細(xì)介紹了一種基于非硅表面微加工技術(shù)的金屬基MEMS慣性開(kāi)關(guān)器件，包括其具體的研發(fā)歷程和實(shí)際應(yīng)用情況,。其次介紹一種可實(shí)現(xiàn)超細(xì)圓管/圓柱/毛細(xì)管等表面3D微加工的集成制造新技術(shù),；最后對(duì)該領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)進(jìn)行分析。該講解將為各類(lèi)超細(xì)介入/植入式柔性生物醫(yī)用MEMS器件的集成制造開(kāi)辟一種全新的技術(shù)途徑,，提升了從事該研究領(lǐng)域的研究生的認(rèn)知,，拓寬了以后研究的思維方式與方法。

講座結(jié)束后,，與會(huì)老師和學(xué)生就講座內(nèi)容和研究熱點(diǎn)進(jìn)行了提問(wèn),。楊卓青教授對(duì)大家提出的問(wèn)題均作了詳細(xì)解答，并鼓勵(lì)青年老師和研究生赴上海交大進(jìn)行學(xué)術(shù)交流,。

（文 徐世周）

專家簡(jiǎn)介：

楊卓青,，教授、博士生導(dǎo)師,，上海交通大學(xué)“微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”研究員,。于2003年和2005年在哈爾濱工程大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院獲得學(xué)士與碩士學(xué)位，2010年獲得上海交通大學(xué)微電子學(xué)與固體電子學(xué)博士學(xué)位,，2011-2013年期間,，在日本國(guó)立產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所（AIST）任JSPS博士后特別研究員。目前任職于上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微納電子學(xué)系,，長(zhǎng)期致力于MEMS慣性開(kāi)關(guān),、柔性纖維/圓管/毛細(xì)管等表面的三維MEMS集成制造、PowerMEMS等相關(guān)研究,，擁有20多項(xiàng)中國(guó)發(fā)明專利和1項(xiàng)日本專利,，在IEEEJMEMS、IEEETED,、Adv Mater,、Adv Energy Mater、Nano Energy,、Lab Chip等國(guó)際期刊上發(fā)表論文100多篇,，并受邀擔(dān)任IEEE NEMS、IEEE INEC,、APCOT,、CSMNT等多個(gè)國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議的TPC成員和分會(huì)主席，目前為Micro and Nanosystems,、Nanomanufacturing,、《功能材料與器件學(xué)報(bào)》等多個(gè)學(xué)術(shù)期刊編委。此外,，曾獲得2016年“上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)”和2019年“工信部國(guó)防科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)”,，并于2014年入選“上海市浦江人才計(jì)劃”,。目前為中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會(huì)理事、中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)微納機(jī)器人分會(huì)理事,、中國(guó)微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員,、中科院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院客座研究員，以及IEEE高級(jí)會(huì)員,。